| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) Institut für Produktionstechnik (WBK) Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkstoffkunde II (IWK II) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000022019 |
| HGF-Programm | 43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 14 |
| Heft | 12 |
| Seiten | 1797-1803 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus OpenAlex |