Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) Institut für Produktionstechnik (WBK) Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkstoffkunde II (IWK II) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2008 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000022019 |
HGF-Programm | 43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung |
Erschienen in | Microsystem technologies |
Verlag | Springer |
Band | 14 |
Heft | 12 |
Seiten | 1797-1803 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |