Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2008 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000022033 |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Verlag | Springer |
Band | 14 |
Heft | 9/11 |
Seiten | 1367 - 1372 |