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Process parameter analysis in ablating micro mold manufacturing

Fleischer, J.; Haupt, S.; Halvadjiysky, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktionstechnik (WBK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076
KITopen ID: 1000022033
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 14
Heft 9/11
Seiten 1367 - 1372
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