Rechnerunterstützte Planung der Messung von Mikrobauteilen
Fleischer, J.; Peters, J.
; Behrens, I.; Schlipf, M.
; Behrens, I.; Schlipf, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000022052 |
| Erschienen in | inno: Innovative Technik - Neue Anwendungen |
| Band | 12 |
| Heft | 36 |
| Seiten | 6 |