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Hilfssystem unterstützt bei Messablaufplanung von Mikroteilen - Charakterisierung kleinster Strukturen

Fleischer, J.; Behrens, I.; Peters, J.; Schlipf, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktionstechnik (WBK)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0720-1214
KITopen ID: 1000022075
Erschienen in Qualität und Zuverlässigkeit
Band 51
Heft 10
Seiten 87 - 90
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