Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Jahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen ID: 1000022088 |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 12 |
Heft | 7 |
Seiten | 707 - 711 |