Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000022088 |
Erschienen in | Microsystem technologies |
Verlag | Springer |
Band | 12 |
Heft | 7 |
Seiten | 707 - 712 |