| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 3-8007-2791-9 KITopen-ID: 1000022190 |
| Erschienen in | Proceedings / MICRO.tec 2003: Applications - Trends - Visions; 2nd VDE World Microtechnologies Congress, Munich, Germany, October 13-15, 2003 |
| Verlag | VDE Verlag |
| Seiten | 453 - 458 |