Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 3-8007-2791-9 KITopen-ID: 1000022190 |
Erschienen in | Proceedings / MICRO.tec 2003: Applications - Trends - Visions; 2nd VDE World Microtechnologies Congress, Munich, Germany, October 13-15, 2003 |
Verlag | VDE Verlag |
Seiten | 453 - 458 |