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Thermo-mechanical behavior of X-ray masks in micro system technology

Körner, C.; Seemann, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Mechanik (ITM)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1617-7061
KITopen-ID: 1000023138
Erschienen in Proceedings in Applied Mathematics and Mechanics (PAMM)
Band 9
Heft 1
Seiten 371-372
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