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Deburring and surface conditioning of micro milled structures by micro peening and ultrasonic wet peening

Horsch, Ch.; Schulze, V.; Löhe, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Werkstoffkunde I (IWK I)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076
KITopen ID: 1000023498
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 12
Heft 7
Seiten 691-696
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