Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkstoffkunde I (IWK I) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-3-527-31493-5 ISSN: 1865-1399 KITopen-ID: 1000023547 |
Erschienen in | Microengineering of metals and ceramics - Pt. 2: Special replication techniques, automation and properties .Ed.: D. Löhe |
Verlag | Wiley-VCH Verlag |
Seiten | 523 - 553 |
Serie | Advanced micro & nanosystems ; 4 |