| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkstoffkunde I (IWK I) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-527-31493-5 ISSN: 1865-1399 KITopen-ID: 1000023548 |
| Erschienen in | Microengineering of metals and ceramics - Pt. 2.: Special replication techniques, automation and properties. Ed.: D. Löhe |
| Verlag | Wiley-VCH Verlag |
| Seiten | 555-578 |
| Serie | Advanced micro & nanosystems ; 4 |