Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Werkstoffkunde I (IWK I) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000023632 |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Verlag | Springer |
Band | 10 |
Heft | 6-7 |
Seiten | 489-492 |