Grain growth in Damascene interconnects
Weygand, D.
; Verdier, M.; Lepinoux, J.
; Verdier, M.; Lepinoux, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IAM-ZBS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0965-0393 KITopen-ID: 1000024339 |
| Erschienen in | Modelling and Simulation in Materials Science and Engineering |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 17 |
| Heft | 6 |
| Seiten | 064005/1-11 |