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Grain growth in Damascene interconnects

Weygand, D.; Verdier, M.; Lepinoux, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Angewandte Materialien - Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IAM-ZBS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0965-0393
KITopen-ID: 1000024339
Erschienen in Modelling and Simulation in Materials Science and Engineering
Band 17
Heft 6
Seiten 064005/1-11
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