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Development of a classical force field for the oxidized Si surface: Application to hydrophilic wafer bonding

Cole, D. J.; Csányi, G.; Payne, M. C.; Spearing, S. M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IAM-ZBS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0021-9606
KITopen ID: 1000024480
Erschienen in Journal of Chemical Physics
Band 127
Heft 20
Seiten 204704/1-12
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