Development of a classical force field for the oxidized Si surface: Application to hydrophilic wafer bonding
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IAM-ZBS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0021-9606 KITopen-ID: 1000024480 |
| Erschienen in | Journal of Chemical Physics |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 127 |
| Heft | 20 |
| Seiten | 204704/1-12 |