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Stress development and impurity segregation during oxidation of the Si(100) surface

Cole, D. J.; Payne, M. C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IAM-ZBS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2007
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0039-6028
KITopen ID: 1000024483
Erschienen in Surface Science
Band 601
Heft 21
Seiten 4888-4898
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