Stress development and impurity segregation during oxidation of the Si(100) surface
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IAM-ZBS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0039-6028 KITopen-ID: 1000024483 |
| Erschienen in | Surface Science |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 601 |
| Heft | 21 |
| Seiten | 4888-4898 |