Development of a Simulation Tool for Wear in Microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IAM-ZBS) Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-527-31493-5 ISSN: 1865-1399 KITopen-ID: 1000024516 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (POF I, LK 01) Zuverlässigkeit, Werkstoffprüfung |
| Erschienen in | Microengineering of metals and ceramics. Part 2: Special replication techniques, automation and properties. Ed.: D. Löhe |
| Verlag | Wiley-VCH Verlag |
| Seiten | 605-624 |
| Serie | Advanced micro & nanosystems ; 4 |