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Development of a Simulation Tool for Wear in Microsystems

Hegadekatte, V.; Huber, N.; Kraft, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IAM-ZBS)
Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-527-31493-5
ISSN: 1865-1399
KITopen ID: 1000024516
HGF-Programm 41.02.03; LK 01
Erschienen in Microengineering of metals and ceramics. Part 2: Special replication techniques, automation and properties. Ed.: D. Löhe
Verlag Wiley-VCH, Weinheim
Seiten 605-624
Serie Advanced micro & nanosystems ; 4
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