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Reliability Assessment of a Gas Microsensor

Büttner, J. 1; Huber, N. 1; Bruns, M. 1; Kraft, O. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/TDMR.2004.836167
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IAM-ZBS)
Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1530-4388
KITopen-ID: 1000024518
HGF-Programm 41.06.01 (POF I, LK 01) Werkstoffe und Dünnschichtverfahren
Erschienen in IEEE Transactions on Device and Materials Reliability
Verlag Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Band 4
Heft 3
Seiten 549 - 555
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