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Analyzing the mechanical behavior of thin films using nanoindentation, cantilever microbeam deflection, and finite element modeling

Schwaiger, R.; Kraft, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Angewandte Materialien - Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IAM-ZBS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1557/JMR.2004.0035
ISSN: 0884-2914
KITopen ID: 1000024562
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erschienen in Journal of Materials Research
Band 19
Heft 1
Seiten 315-324
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