Analyzing the mechanical behavior of thin films using nanoindentation, cantilever microbeam deflection, and finite element modeling
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen (IAM-ZBS) Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0884-2914 KITopen-ID: 1000024562 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (POF I, LK 01) Werkstoffprüfung und Mikrobereichsanal. |
| Erschienen in | Journal of Materials Research |
| Verlag | Cambridge University Press (CUP) |
| Band | 19 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 315-324 |
| Nachgewiesen in | Web of Science |