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Prozess-Gefüge-Eigenschaftsbeziehungen urgeformter Mikroproben aus Siliziumnitrid

Rögner, J.; Müller, M.; Maisenbacher, J.; Lang, K.-H.; Kraft, O.; Wanner, A.; Schulze, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffkunde (IAM-WK)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2011
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-86644-747-9
ISSN: 1869-9669
URN: urn:nbn:de:swb:90-250074
KITopen ID: 1000025007
HGF-Programm 43.13.02; LK 01
Erschienen in Kolloquium Mikroproduktion und Abschlusskolloquium SFB 499, 11. - 12. Oktober 2011, Karlsruhe. Hrsg.: O. Kraft
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Seiten 49-56
Serie KIT Scientific Reports ; 7591
URLs Gesamtwerk
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