Fertigungstechnologien zur Erzeugung hochgenauer Mikrostrukturen und Oberflächen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) Institut für Angewandte Materialien – Werkstoffkunde (IAM-WK) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-86644-747-9 ISSN: 1869-9669 urn:nbn:de:swb:90-250095 KITopen-ID: 1000025009 |
| Erschienen in | Kolloquium Mikroproduktion und Abschlusskolloquium SFB 499, 11. - 12. Oktober 2011, Karlsruhe. Hrsg.: O. Kraft |
| Verlag | KIT Scientific Publishing |
| Seiten | 65-74 |
| Serie | KIT Scientific Reports ; 7591 |
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