| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik (IHE) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000026251 |
| Erschienen in | Proceedings of 2011 IMAPS/ACerS 7th International Conference and Exhibition on Ceramic Microsystems Technologies (CICMT 2011), San Diego, Calif., April 5 - 7, 2011 |
| Verlag | San Diego (Calif.) |