Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Hochfrequenztechnik und Elektronik (IHE) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000026251 |
Erschienen in | Proceedings of 2011 IMAPS/ACerS 7th International Conference and Exhibition on Ceramic Microsystems Technologies (CICMT 2011), San Diego, Calif., April 5 - 7, 2011 |
Verlag | San Diego (Calif.) |