Aufbau, Struktur und Eigenschaftsprofile von Viellagenschichtsystemen aus Tantal- oder Titannitriden mit Eisenkobaltlagen

Im Mittelpunkt der Forschungsarbeiten stand die Entwicklung von Verschleißschutzschichten mit einer integrierten Sensorfunktionalität. Ziel war es hierbei, eine fernabfragbare Messung von dem Abtrag, der Temperatur und dem Verspannungszustand der Verschleißschutzschichten zu ermöglichen. Der in dieser Arbeit verfolgte Ansatz hierfür bestand in der Herstellung von Viellagenschichten aus Hartstoff- und ferromagnetischen Funktionslagen.