Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0734-2101 KITopen-ID: 1000027109 |
Erschienen in | Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films |
Verlag | American Vacuum Society |
Band | 29 |
Heft | 3 |
Seiten | 03A120/1 - 8 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus |