| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-2101 KITopen-ID: 1000027109 |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 29 |
| Heft | 3 |
| Seiten | 03A120/1 - 8 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus |