Development of magnetic nanoactuator systems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Organische Chemie (IOC) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0167-9317 KITopen-ID: 1000027304 |
| HGF-Programm | 43.01.01 (POF II, LK 01) Lithographie |
| Erschienen in | Microelectronic Engineering |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 88 |
| Heft | 8 |
| Seiten | 2263-2266 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |