| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Organische Chemie (IOC) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000027313 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 17 |
| Heft | 4 |
| Seiten | 609-618 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions OpenAlex Web of Science |