Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Organische Chemie (IOC) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000027313 |
HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Verlag | Springer |
Band | 17 |
Heft | 4 |
Seiten | 609-618 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |