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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1080/02786826.2010.517814
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Zitationen: 5

High-precision combinatorial deposition of micro particle patterns on a microelectronic chip

Löffler, F.; Wagner, J.; König, K.; Märkle, F.; Fernandez, S.; Schirwitz, C.; Torralba, G.; Hausmann, M.; Lindenstruth, V.; Bischoff, F. R.; Breitling, F.; Nesterov, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Organische Chemie (IOC)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0278-6826
KITopen ID: 1000027314
HGF-Programm 47.01.03; LK 01
Erschienen in Aerosol Science and Technology
Band 45
Heft 1
Seiten 65-74
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