High-precision combinatorial deposition of micro particle patterns on a microelectronic chip

Löffler, F.; Wagner, J.; König, K.; Märkle, F.; Fernandez, S.; Schirwitz, C.; Torralba, G.; Hausmann, M.; Lindenstruth, V.; Bischoff, F. R.; Breitling, F.; Nesterov, A.

doi:10.1080/02786826.2010.517814

High-precision combinatorial deposition of micro particle patterns on a microelectronic chip

Löffler, F.; Wagner, J.; König, K.; Märkle, F.; Fernandez, S.; Schirwitz, C.; Torralba, G.; Hausmann, M.; Lindenstruth, V.; Bischoff, F. R.; Breitling, F. ¹; Nesterov, A. ¹
¹ Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Organische Chemie (IOC)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2011
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 0278-6826 KITopen-ID: 1000027314
HGF-Programm	47.01.03 (POF II, LK 01) Biologische Schlüselmoleküle IMT
Erschienen in	Aerosol Science and Technology
Verlag	Taylor and Francis
Band	45
Heft	1
Seiten	65-74
Nachgewiesen in	OpenAlex Web of Science Scopus Dimensions

Externe Links

Download

Originalveröffentlichung
DOI: 10.1080/02786826.2010.517814

Scopus
Zitationen: 8

Web of Science
Zitationen: 8

Dimensions
Zitationen: 11

Export

Statistiken

Seitenaufrufe: 117
seit 22.05.2018

Repository KITopen

High-precision combinatorial deposition of micro particle patterns on a microelectronic chip