| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Organische Chemie (IOC) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0960-1317 KITopen-ID: 1000027317 |
| HGF-Programm | 43.04.03 (POF II, LK 01) Röntgenoptik |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 21 |
| Seiten | 015020/1-11 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |