Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Organische Chemie (IOC) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0960-1317 KITopen-ID: 1000027317 |
HGF-Programm | 43.04.03 (POF II, LK 01) Röntgenoptik |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 21 |
Seiten | 015020/1-11 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |