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Microparticle transfer onto pixel electrodes of 45 μm pitch on HV-CMOS chips. Simulation and experiment

Wagner, J.; König, K.; Förtsch, T.; Löffler, F.; Fernandez, S.; Felgenhauer, T.; Painke, F.; Torralba, G.; Lindenstruth, V.; Stadler, V.; Bischoff, F. R.; Breitling, F.; Hausmann, M.; Nesterov-Müller, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Organische Chemie (IOC)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0924-4247
KITopen ID: 1000027325
HGF-Programm 47.01.03; LK 01
Erschienen in Sensors and Actuators A
Band 172
Heft 2
Seiten 533-545
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