Microparticle transfer onto pixel electrodes of 45 μm pitch on HV-CMOS chips. Simulation and experiment

Wagner, J.; König, K.; Förtsch, T.; Löffler, F.; Fernandez, S.; Felgenhauer, T.; Painke, F.; Torralba, G.; Lindenstruth, V.; Stadler, V.; Bischoff, F. R.; Breitling, F.; Hausmann, M.; Nesterov-Müller, A.

doi:10.1016/j.sna.2011.06.017

Microparticle transfer onto pixel electrodes of 45 μm pitch on HV-CMOS chips. Simulation and experiment

Wagner, J.; König, K. ¹; Förtsch, T.; Löffler, F.; Fernandez, S.; Felgenhauer, T.; Painke, F.; Torralba, G.; Lindenstruth, V.; Stadler, V.; Bischoff, F. R.; Breitling, F. ¹; Hausmann, M.; Nesterov-Müller, A. ¹
¹ Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

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DOI: 10.1016/j.sna.2011.06.017

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Organische Chemie (IOC)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2011
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 0924-4247 KITopen-ID: 1000027325
HGF-Programm	47.01.03 (POF II, LK 01) Biologische Schlüselmoleküle IMT
Erschienen in	Sensors and Actuators A
Verlag	Elsevier
Band	172
Heft	2
Seiten	533-545
Nachgewiesen in	Web of Science Scopus Dimensions

Repository KITopen

Microparticle transfer onto pixel electrodes of 45 μm pitch on HV-CMOS chips. Simulation and experiment