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Reduced propagation loss in silicon strip and slot waveguides coated by atomic layer deposition

Alasaarela, T.; Korn, D.; Alloatti, L.; Säynätjoki, A.; Tervonen, A.; Palmer, R.; Leuthold, J.; Freude, W.; Honkanen, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Organische Chemie (IOC)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1094-4087
KITopen ID: 1000027331
HGF-Programm 43.14.03; LK 01
Erschienen in Optics Express
Band 19
Heft 12
Seiten 11529-11538
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