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Comparison of optical and tactile layer thickness measurements of polymers and metals on silicon or SiO₂

Brand, Uwe; Beckert, Erik; Beutler, Andreas; Dai, Gaoliang; Stelzer, Christian; Hertwig, Andreas; Klapetek, Petr; Koglin, Jürgen; Thelen, Richard; Tutsch, Rainer



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0957-0233/22/9/094021
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Zitationen: 11
Web of Science
Zitationen: 9
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Organische Chemie (IOC)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0022-3735, 0368-4253, 0368-4261, 0950-1290, 0950-7671, 0957-0233, 1361-6501
KITopen-ID: 1000027336
HGF-Programm 43.16.01 (POF II, LK 02)
Erschienen in Measurement science and technology
Band 22
Heft 9
Seiten 1-14
Nachgewiesen in Web of Science
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