Comparison of optical and tactile layer thickness measurements of polymers and metals on silicon or SiO₂
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Organische Chemie (IOC) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0022-3735, 0368-4253, 0368-4261, 0950-1290, 0950-7671, 0957-0233, 1361-6501 KITopen-ID: 1000027336 |
| HGF-Programm | 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct. |
| Erschienen in | Measurement science and technology |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 22 |
| Heft | 9 |
| Seiten | 1-14 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |