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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/MEMSYS.2011.5734613

A bistable shape memory microvalve

Barth, J.; Megnin, C.; Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Organische Chemie (IOC)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-424-49632-7
KITopen ID: 1000027345
HGF-Programm 43.15.01; LK 01
Erschienen in 24th International Conferenceon Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2011), Cancun, Mexiko, January 23 - 27, 2011. Ed.: K. Böhringer
Verlag IEEE, Piscataway (N. J.)
Seiten 1067-1070
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