| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Organische Chemie (IOC) |
| Publikationstyp | Buch |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-540-20635-4 ISSN: 1615-8326 KITopen-ID: 1000027346 |
| Verlag | Springer-Verlag |
| Serie | Microtechnology and MEMS ; 2004 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions |