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LIGA and its Applications

Saile, V.; Wallrabe, U.; Tabata, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Organische Chemie (IOC)
Publikationstyp Buch
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-527-31698-4
ISSN: 1865-3715
KITopen ID: 1000027348
Verlag Wiley-VCH, Weinheim
Serie Advanced Micro and Nanosystems ; 7
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