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Wallrabe, U.; Korvink, J.; Mohr, J.; Gianchandani, Y.B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Organische Chemie (IOC)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-0-444-52194-1
KITopen ID: 1000027349
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Erschienen in Comprehensive Microsystems
Auflage 1
Verlag Elsevier, Amsterdam
Seiten 292-340
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