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LIGA

Wallrabe, U.; Korvink, J.; Mohr, J.; Gianchandani, Y. B.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Organische Chemie (IOC)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-0-444-52194-1
KITopen-ID: 1000027349
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erschienen in Comprehensive Microsystems
Auflage 1
Verlag Elsevier
Seiten 292-340
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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