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Synchrotron laboratory for micro and nano devices: facility concept and design

Achenbach, Sven; Subramanian, Venkat; Klymyshyn, David; Wells, Garth



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-010-1071-3
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Zitationen: 4
Web of Science
Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Organische Chemie (IOC)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen-ID: 1000027351
HGF-Programm 55.51.10 (POF II, LK 02)
Erschienen in Microsystem technologies
Band 16
Heft 8-9
Seiten 1293-98
Nachgewiesen in Web of Science
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