Synchrotron laboratory for micro and nano devices: facility concept and design
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Organische Chemie (IOC) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000027351 |
| HGF-Programm | 55.51.10 (POF II, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers. |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 16 |
| Heft | 8-9 |
| Seiten | 1293-98 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |