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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-009-0953-8
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First automated production line for X-ray-LIGA (FELIG) is brought on line

Hahn, L.; Schwartz, G.; Saile, V.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Organische Chemie (IOC)
Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076
KITopen-ID: 1000027361
HGF-Programm 43.14.03 (POF II, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 16
Heft 8-9
Seiten 1287-1292
Nachgewiesen in Scopus
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