First automated production line for X-ray-LIGA (FELIG) is brought on line
Hahn, L. 1; Schwartz, G. 2; Saile, V. 1; Schulz, J.
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1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Fakultät für Maschinenbau – Institut für Angewandte Informatik/Automatisierungstechnik (AIA), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Fakultät für Maschinenbau – Institut für Angewandte Informatik/Automatisierungstechnik (AIA), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Organische Chemie (IOC) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000027361 |
| HGF-Programm | 43.14.03 (POF II, LK 01) System integration |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 16 |
| Heft | 8-9 |
| Seiten | 1287-1292 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |