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First automated production line for X-ray-LIGA (FELIG) is brought on line

Hahn, L. 1; Schwartz, G. 2; Saile, V. 1; Schulz, J. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Fakultät für Maschinenbau – Institut für Angewandte Informatik/Automatisierungstechnik (AIA), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-009-0953-8
Scopus
Zitationen: 5
Web of Science
Zitationen: 5
Dimensions
Zitationen: 6
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Organische Chemie (IOC)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076
KITopen-ID: 1000027361
HGF-Programm 43.14.03 (POF II, LK 01) System integration
Erschienen in Microsystem Technologies
Verlag Springer
Band 16
Heft 8-9
Seiten 1287-1292
Nachgewiesen in Web of Science
Dimensions
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