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Microthermoforming of nanostructured polymer films: a new bonding method for the integration of nanostructures in 3-dimensional cavities

Heilig, M. 1; Giselbrecht, S. 2; Guber, A. E. 1; Worgull, M. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Biologische Grenzflächen (IBG), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-010-1072-2
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Zitationen: 25
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Zitationen: 22
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Biologische Grenzflächen (IBG)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Organische Chemie (IOC)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076
KITopen-ID: 1000027362
HGF-Programm 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation
Erschienen in Microsystem Technologies
Verlag Springer
Band 16
Heft 7
Seiten 1221-1231
Nachgewiesen in Scopus
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