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Microthermoforming of nanostructured polymer films: a new bonding method for the integration of nanostructures in 3-dimensional cavities

Heilig, M.; Giselbrecht, S.; Guber, A. E.; Worgull, M.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-010-1072-2
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Zitationen: 21
Web of Science
Zitationen: 14
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Organische Chemie (IOC)
Institut für Biologische Grenzflächen (IBG)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076
KITopen-ID: 1000027362
HGF-Programm 43.01.03 (POF II, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 16
Heft 7
Seiten 1221-1231
Nachgewiesen in Web of Science
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