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Electropolishing as a method for deburring high aspect ratio nickel RF MEMS

Kissling, S.; Bade, K.; Börner, M.; Klymyshyn, D. M.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-010-1075-z
Scopus
Zitationen: 3
Web of Science
Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Organische Chemie (IOC)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076
KITopen-ID: 1000027365
HGF-Programm 43.01.03 (POF II, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 16
Heft 8-9
Seiten 1361-1367
Nachgewiesen in Scopus
Web of Science
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