Electropolishing as a method for deburring high aspect ratio nickel RF MEMS
Kissling, S. 1; Bade, K.
1; Börner, M. 1; Klymyshyn, D. M.
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Börner, M. 1; Klymyshyn, D. M.1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Organische Chemie (IOC) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000027365 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 16 |
| Heft | 8-9 |
| Seiten | 1361-1367 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |