The Materials Challenge in Diffraction-Unlimited Direct-Laser-Writing Optical Lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0935-9648, 1521-4095 KITopen-ID: 1000028392 |
| HGF-Programm | 43.14.01 (POF II, LK 01) Photonics crystals and metamaterials |
| Erschienen in | Advanced materials |
| Verlag | John Wiley and Sons |
| Band | 22 |
| Heft | 32 |
| Seiten | 3578-3582 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |