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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/adma.201000892
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Web of Science
Zitationen: 126

The Materials Challenge in Diffraction-Unlimited Direct-Laser-Writing Optical Lithography

Fischer, Joachim; Freymann, Georg von; Wegener, Martin



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Physik (APH)
Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0935-9648, 1521-4095
KITopen-ID: 1000028392
HGF-Programm 43.14.01 (POF II, LK 01)
Erschienen in Advanced materials
Band 22
Heft 32
Seiten 3578-3582
Nachgewiesen in Web of Science
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