Quantification of Sample Thickness and In-Concentration of InGaAs Quantum Wells by Transmission Measurements in a Scanning Electron Microscope
Volkenandt, T. 1; Müller, E.
1,2; Hu, D. Z. 2; Schaadt, D. M. 2; Gerthsen, D. 1,2
1 Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Center for Functional Nanostructures (CFN), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1,2; Hu, D. Z. 2; Schaadt, D. M. 2; Gerthsen, D. 1,21 Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Center for Functional Nanostructures (CFN), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM) Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1431-9276 KITopen-ID: 1000028406 |
| Erschienen in | Microscopy and Microanalysis |
| Verlag | Cambridge University Press (CUP) |
| Band | 16 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 604-613 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |