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Loss reduction of silicon slot waveguides with ALD-grown thin films

Säynätjoki, A.; Karvonen, L.; Alasaarela, T.; Korn, D.; Alloatti, L.; Tervonen, A.; Palmer, R.; Koos, C.; Leuthold, J.; Freude, W.; Honkanen, S. K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-0-8194-8909-8
ISSN: 0277-786X
KITopen ID: 1000028766
Erschienen in Silicon photonics VII : 22 - 25 January 2012, San Francisco, California, United States. Ed.: J. Kubby
Seiten 82660D
Serie Proceedings of SPIE ; 8266
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