Loss reduction of silicon slot waveguides with ALD-grown thin films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-8194-8909-8 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000028766 |
| Erschienen in | Silicon photonics VII : 22 - 25 January 2012, San Francisco, California, United States. Ed.: J. Kubby |
| Seiten | 82660D |
| Serie | Proceedings of SPIE ; 8266 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions |