Loss reduction of silicon slot waveguides with ALD-grown thin films

Säynätjoki, A.; Karvonen, L.; Alasaarela, T.; Korn, D.; Alloatti, L.; Tervonen, A.; Palmer, R.; Koos, C.; Leuthold, J.; Freude, W.; Honkanen, S. K.

Originalveröffentlichung
DOI: 10.1117/12.908640

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2012
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 978-0-8194-8909-8 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000028766
Erschienen in	Silicon photonics VII : 22 - 25 January 2012, San Francisco, California, United States. Ed.: J. Kubby
Seiten	82660D
Serie	Proceedings of SPIE ; 8266
Nachgewiesen in	Dimensions