Quality Assurance and Dimensional Measurement Technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-527-31493-5 ISSN: 1865-1399 KITopen-ID: 1000029596 |
| Erschienen in | Microengineering of Metals and Ceramics. Part II: Special Replication Techniques, Automation, and Properties. Ed.: D. Löhe |
| Verlag | Wiley-VCH Verlag |
| Seiten | 499-519 |
| Serie | Advanced micro & nanosystems ; 4 |