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Quality Assurance and Dimensional Measurement Technology

Fleischer, J.; Behrens, I.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktionstechnik (WBK)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-527-31493-5
ISSN: 1865-1399
KITopen ID: 1000029596
Erschienen in Microengineering of Metals and Ceramics. Part II: Special Replication Techniques, Automation, and Properties. Ed.: D. Löhe
Verlag Wiley-VCH, Weinheim
Seiten 499-519
Serie Advanced micro & nanosystems ; 4
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