Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-3-527-31493-5 ISSN: 1865-1399 KITopen-ID: 1000029598 |
Erschienen in | Microengineering of Metals and Ceramics. Part II: Special Replication Techniques, Automation, and Properties. Ed.: D. Löhe |
Verlag | Wiley-VCH Verlag |
Seiten | 451-474 |
Serie | Advanced micro & nanosystems ; 4 |