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Bestimmung der Messunsicherheit in Mikrometer Bereich - Strategien, Modelle und Einflussfaktoren

Tan, Ö.; Krah, T.; Neuschaefer-Rube, U.; Ehrig, W.; Viering, B.; Herffurth, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktionstechnik (WBK)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2011
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8440-0358-1
KITopen ID: 1000029667
Erschienen in Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen: Abschlussbericht DFG-Schwerpunktprogramm 1159 StraMNano. Hrsg.: A. Weckenmann
Verlag Shaker, Aachen
Seiten 188-205
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