Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8440-0358-1 KITopen-ID: 1000029667 |
Erschienen in | Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen: Abschlussbericht DFG-Schwerpunktprogramm 1159 StraMNano. Hrsg.: A. Weckenmann |
Verlag | Shaker Verlag |
Seiten | 188-205 |