KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Vergleich von Verfahren zur Geometriebestimmung in der Mikrotechnik

Krah, T.; Horn, F.; Patzelt, S.; Schrader, C.; Schulze, M.; Shaw, L.; Tausendfreund, A.; Viering, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Produktionstechnik (WBK)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2011
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8440-0358-1
KITopen ID: 1000029668
Erschienen in Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen: Abschlussbericht DFG-Schwerpunktprogramm 1159 StraMNano. Hrsg.: A. Weckenmann
Verlag Shaker, Aachen
Seiten 234-249
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page