Vergleich von Verfahren zur Geometriebestimmung in der Mikrotechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8440-0358-1 KITopen-ID: 1000029668 |
| Erschienen in | Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen: Abschlussbericht DFG-Schwerpunktprogramm 1159 StraMNano. Hrsg.: A. Weckenmann |
| Verlag | Shaker Verlag |
| Seiten | 234-249 |