| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Produktionstechnik (WBK) Institut für Angewandte Materialien – Werkstoffkunde (IAM-WK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000029967 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Erschienen in | Microsystem technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 17 |
| Heft | 10-11 |
| Seiten | 1547-1556 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Web of Science Scopus |