Reduction of surface losses of CVD diamond by passivation methods
Scherer, T. A. 1; Aiello, G.
1; Grossetti, G. 1; Meier, A. 1; Schreck, S.
1; Spaeh, P.
1; Strauss, D. 1; Vaccaro, A. 1; Siegel, M. 2; Meckbach, J. M. 2; Scheuring, A. 2
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Grossetti, G. 1; Meier, A. 1; Schreck, S.
1; Spaeh, P.
1; Strauss, D. 1; Vaccaro, A. 1; Siegel, M. 2; Meckbach, J. M. 2; Scheuring, A. 21 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4673-1598-2 KITopen-ID: 1000031598 |
| HGF-Programm | 31.30.04 (POF II, LK 01) ECRH Heiz.u.Strombetr. Port Plug-Entw. |
| Erschienen in | Proceedings of the 37th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz'12), Wollongong, Australia, September 23-38, 2012 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 1-2 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |