Investigation of dielectric losses in hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) thin films using superconducting microwave resonators
Bruno, A.; Skacel, S. T.; Kaiser, Ch.; Wünsch, S.
; Siegel, M.; Ustinov, A. V.; Lisitskiy, M. P.
; Siegel, M.; Ustinov, A. V.; Lisitskiy, M. P.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1875-3884 urn:nbn:de:swb:90-316000 KITopen-ID: 1000031600 |
| Erschienen in | Physics Procedia |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 36 |
| Seiten | 245-249 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |