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Ultra-thin TaN Films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors

Il'in, K. 1; Hofherr, M. 1; Rall, D. 1; Siegel, M. 1; Semenov, A.; Engel, A.; Inderbitzin, K.; Aeschbacher, A.; Schilling, A.
1 Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s10909-011-0424-3
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Zitationen: 26
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Zitationen: 27
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0022-2291
KITopen-ID: 1000031901
Erschienen in Journal of Low Temperature Physics
Verlag Springer
Band 167
Heft 5-6
Seiten 809-814
Nachgewiesen in Scopus
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