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Ultra-thin TaN Films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors

Il'in, K.; Hofherr, M.; Rall, D.; Siegel, M.; Semenov, A.; Engel, A.; Inderbitzin, K.; Aeschbacher, A.; Schilling, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0022-2291
KITopen ID: 1000031901
Erschienen in Journal of Low Temperature Physics
Band 167
Heft 5-6
Seiten 809-814
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