Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0948-1907 KITopen-ID: 1000033758 |
Erschienen in | Chemical Vapor Deposition |
Verlag | Wiley-VCH Verlag |
Band | 17 |
Heft | 1-3 |
Seiten | 54-57 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |