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DOI: 10.5445/KSP/1000034458
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Herstellung von Gitterstrukturen mit Aspektverhältnis 100 für die Phasenkontrastbildgebung in einem Talbot-Interferometer

Kenntner, Johannes

Abstract:
Für Objekte mit sehr ähnlichen Absorptionskoeffizienten, wie gesundes und karzinogenes Gewebe liefert der Absorptionskontrast häufig unzureichende Informationen. Eine vielversprechende Methode einer kontrastreichen Bildgebung bietet jedoch die Phasenkontrast Bildgebung in einem Talbot-Interferometer. Hierfür werden Gitter mit hohen Aspektverhältnissen benötigt. Im Rahmen dieses Buchs wird der LIGAProzess genutzt, um erstmalig Gitter mit einem Aspektverhältnis von mindestens 100 herzustellen.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2013
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-7315-0016-2
ISSN: 1869-5183
URN: urn:nbn:de:0072-344583
KITopen ID: 1000034458
Verlag KIT Scientific Publishing, Karlsruhe
Umfang XII, 186 S.
Serie Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 17
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten 28.09.2012
Referent/Betreuer Prof. V. Saile
Schlagworte Phasenkontrast, Aspektverhältnis, Talbot-Interferometer, Röntgenoptik, LIGA
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