Herstellung von Gitterstrukturen mit Aspektverhältnis 100 für die Phasenkontrastbildgebung in einem Talbot-Interferometer
Abstract:
Für Objekte mit sehr ähnlichen Absorptionskoeffizienten, wie gesundes und karzinogenes Gewebe liefert der Absorptionskontrast häufig unzureichende Informationen. Eine vielversprechende Methode einer kontrastreichen Bildgebung bietet jedoch die Phasenkontrast Bildgebung in einem Talbot-Interferometer. Hierfür werden Gitter mit hohen Aspektverhältnissen benötigt. Im Rahmen dieses Buchs wird der LIGAProzess genutzt, um erstmalig Gitter mit einem Aspektverhältnis von mindestens 100 herzustellen.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-7315-0016-2 ISSN: 1869-5183 urn:nbn:de:0072-344583 KITopen-ID: 1000034458 |
| Verlag | KIT Scientific Publishing |
| Umfang | XII, 186 S. |
| Serie | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 17 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | 28.09.2012 |
| Schlagwörter | Phasenkontrast, Aspektverhältnis, Talbot-Interferometer, Röntgenoptik, LIGA |
| Referent/Betreuer | Saile, V. |